早曝光出来,对于后面的发展极为不利。
从光刻工厂实验工厂顺利完成芯片制造之后,发生的事情就和所预料的那样。
虽然说,王东来已经研发出了EDA设计软件和光刻胶之类的核心设备以及材料。
但这并不代表着我们就完全解决了光刻领域的技术难关。
就像是现在,在集合了全国的尖端人才,还是卡在了照明系统这里。
在光刻机里面,照明系统看似不起眼,实际却很重要。
可以这么说,能出现在光刻机里面的技术和材料,就没有一个是简单的。
工业技术皇冠的明珠,这绝对不是虚言。
回到euv光刻机上面,利用极深紫外光成像,做到原子极的光滑度,来保证光刻精度和能量效率。
镜面稍微有一点问题,或是凸起,或是凹陷,又或者尺寸不对,都会造成 euv光线的严重散射和衍射,从而导致光线传播方向偏离,最后晶圆上的电路图案出现错位等问题。
芯片的良品率就不用想了,低的吓人。
而这还只是在光刻机上面,当扩大到光刻工厂的时候,情况就更加复杂了。
精度不变,但是因为规模放大了,控制准度就呈指数上升。
本来,国内的技术连光刻机里的照明系统都无法完成,达到国际一流水平。
现在,又放到了光刻工厂上面,难度自然是极大的。
固然说是之前的光刻工厂实验工厂已经获得成功,但这并不代表着就能完全照搬。
王东来把相关技术的大门都已经打开了。
原本想着以调集的全国尖端科研人才,应该是可以研发下去的。
结果,三天两头就遇到问题,然后来找王东来解决。
这也正是他一直泡在实验室里的原因。
通常遇到这样的技术难题,王东来就算是再怎么谈起,也会在第一时间解决。
毕竟,光刻工厂这个技术,对于目前的国内来说,还是严重超标了。
甚至于,为了更早地建成,他都已经把很多技术进行了简化,降低了要求标准。
现在到了这一步,他也只能咬牙坚持下去了。
总不能,让这么大的一个项目成为笑话。
而就在他细细斟酌如何写离子束抛光、磁控溅射技术方案的时候。
一个电话打了过来,是从魔都打过来的。
接过电话,简单
从光刻工厂实验工厂顺利完成芯片制造之后,发生的事情就和所预料的那样。
虽然说,王东来已经研发出了EDA设计软件和光刻胶之类的核心设备以及材料。
但这并不代表着我们就完全解决了光刻领域的技术难关。
就像是现在,在集合了全国的尖端人才,还是卡在了照明系统这里。
在光刻机里面,照明系统看似不起眼,实际却很重要。
可以这么说,能出现在光刻机里面的技术和材料,就没有一个是简单的。
工业技术皇冠的明珠,这绝对不是虚言。
回到euv光刻机上面,利用极深紫外光成像,做到原子极的光滑度,来保证光刻精度和能量效率。
镜面稍微有一点问题,或是凸起,或是凹陷,又或者尺寸不对,都会造成 euv光线的严重散射和衍射,从而导致光线传播方向偏离,最后晶圆上的电路图案出现错位等问题。
芯片的良品率就不用想了,低的吓人。
而这还只是在光刻机上面,当扩大到光刻工厂的时候,情况就更加复杂了。
精度不变,但是因为规模放大了,控制准度就呈指数上升。
本来,国内的技术连光刻机里的照明系统都无法完成,达到国际一流水平。
现在,又放到了光刻工厂上面,难度自然是极大的。
固然说是之前的光刻工厂实验工厂已经获得成功,但这并不代表着就能完全照搬。
王东来把相关技术的大门都已经打开了。
原本想着以调集的全国尖端科研人才,应该是可以研发下去的。
结果,三天两头就遇到问题,然后来找王东来解决。
这也正是他一直泡在实验室里的原因。
通常遇到这样的技术难题,王东来就算是再怎么谈起,也会在第一时间解决。
毕竟,光刻工厂这个技术,对于目前的国内来说,还是严重超标了。
甚至于,为了更早地建成,他都已经把很多技术进行了简化,降低了要求标准。
现在到了这一步,他也只能咬牙坚持下去了。
总不能,让这么大的一个项目成为笑话。
而就在他细细斟酌如何写离子束抛光、磁控溅射技术方案的时候。
一个电话打了过来,是从魔都打过来的。
接过电话,简单