态被动稳定方法，不管是隔绝振动还是恒温恒湿去驯服它。
我们花无数时间去调试，去追求一个理想中永恒不变的完美焦点。”
林燃抬手，指了指空气，似乎他们眼前就有CG-1光刻机一样。
“但CG-1的透镜组，永远不可能像 ASML的纯石英镜片那样稳定。
它的材料、它的结构，注定对环境更敏感。
无论是从现在，还是从长远来看，我们都必须放弃绝对稳定的幻想，转向动态补偿。”
我们花无数时间去调试，去追求一个理想中永恒不变的完美焦点。”
林燃抬手，指了指空气，似乎他们眼前就有CG-1光刻机一样。
“但CG-1的透镜组，永远不可能像 ASML的纯石英镜片那样稳定。
它的材料、它的结构，注定对环境更敏感。
无论是从现在，还是从长远来看，我们都必须放弃绝对稳定的幻想，转向动态补偿。”